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我国电子级多晶硅量产填补国内技术空白

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摘要 5月初,江苏鑫华半导体材料科技有限公司集成电路用高纯度硅料小批量出口韩国,并已向国内部分晶圆加工厂批量供货。这标志着鑫华半导体集成电路用硅料已经达到国际一流质量标准,也是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。
出处 《信息系统工程》 2018年第6期F0002-F0002,共1页
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