微振动隔振技术及应用

目前,科学仪器和设备不断朝着高精尖方向发展,无论是用于加工的设备还是用于检测的仪器,它们对客观环境的要求都越来越高,其中对微振动的控制的要求达到了前所未有的高度。国内外对微振动控制技术进行了大量研究,提出了许多控制理论和控制方法。发展较早的是被动振动控制技术,其一般包括减振、隔振和吸振等,在航空航天和精密测量等领域均有广泛应用。主动振动控制技术经常用于对低频微振动进行控制。近年来主被动联合振动控制技术在航空航天领域得到了应用,并取得较好效果。同时,人们对半主动振动控制技术进行了深入研究,不断完善控制理论和控制方法,在一些领域也得到了较好应用。