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DC-DC转换器微型片上螺旋电感器的设计和建模

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摘要 本文研究了片上电感工艺参数的影响,利用MATLAB仿真仿真了片上电感的特性。所有的电感均采用标准的具有金属层的硅工艺进行制造。只有当技术参数(例如顶部金属和衬底之间的金属导电率、金属厚度、氧化物厚度,以及电感上衬底的导电率,品质因数和自谐振频率)一起使用时,仿真结果才是准确的。
出处 《磁性元件与电源》 2018年第7期148-152,共5页 Components and Power
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