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江丰电子承担的国家科技重大专项项目通过正式验收
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摘要
近日,由江丰电子主持的国家科技重大专项(02专项)“45-28nm配线用超高纯系列溅射靶材开发与产业化”项目顺利通过国家O2专项验收专家组的正式验收。通过该项目的实施,江丰电子在300mm晶片用45-28nm技术节点实现了超高纯金属溅射靶材、高纯Cu-P合金铜阳极产品的量产,并且建成了相关产品的分析检测平台。
出处
《中国集成电路》
2018年第7期1-1,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
电子
大专
科技
溅射靶材
高纯金属
相关产品
技术节点
检测平台
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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中国集成电路
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