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应用材料公司取得突破性进展,大幅提升大数据和人工智能时代的芯片性能

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摘要 应用材料公司日前宣布其在材料工程方面取得重大突破,该技术可大幅提升大数据和人工智能时代的芯片性能。为了能够在晶体管接触和互联使用钴作为新的导电材料,应用材料公司已在Endura平台上整合了多个材料工程步骤:预清洁、PVD、ALD以及CVD。
出处 《中国集成电路》 2018年第7期4-5,共2页 China lntegrated Circuit
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