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浅析区熔级多晶硅生产工艺技术及现状 被引量:2

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摘要 区熔级多晶硅是电子级多晶硅的高端产品,是社会发展至今的人工智能、自动控制、信息处理等半导体器件的电子信息的基础材料。以下部分我们将从多晶硅的用途、工艺技术等分析它的应用现状。
作者 栗一甲
出处 《化工管理》 2018年第17期103-103,共1页 Chemical Engineering Management
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