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飞秒激光制备高品质铌酸锂光学微腔
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摘要
铌酸锂晶体对于光子学的意义,可比拟于硅材料对于电子学。铌酸锂是电光调控和非线性应用中公认的极好的光子结构候选材料。但在铌酸锂衬底材料上制作光子集成回路却面临着一个非常关键的问题:铌酸锂晶体化学性质稳定、耐腐蚀、难以进行光刻加工,阻碍了铌酸锂光子器件的芯片化和集成化。
作者
王玮
出处
《科技成果管理与研究》
2018年第8期86-87,共2页
Management And Research On Scientific & Technological Achievements
关键词
铌酸锂晶体
光学微腔
飞秒激光
品质
制备
光子集成回路
非线性应用
光子结构
分类号
TN491 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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科技成果管理与研究
2018年 第8期
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