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半导体产业的关键材料——光刻胶 被引量:5

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摘要 半导体芯片是信息技术的重要基础。电子元件在芯片上集成度的迅速提高是集成电路性能提高、价格降低的重要原因,即著名的摩尔定律。但随着制程越发接近半导体的物理极限,电子元件将会难以继续缩小下去。在半导体技术发展的过程中,光刻胶(photoresist)扮演了至关重要的角色。
出处 《新材料产业》 2018年第9期35-40,共6页 Advanced Materials Industry
基金 "清华大学-张家港氢能与先进锂电技术联合研究中心"支持
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