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半导体产业的关键材料——光刻胶
被引量:
5
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摘要
半导体芯片是信息技术的重要基础。电子元件在芯片上集成度的迅速提高是集成电路性能提高、价格降低的重要原因,即著名的摩尔定律。但随着制程越发接近半导体的物理极限,电子元件将会难以继续缩小下去。在半导体技术发展的过程中,光刻胶(photoresist)扮演了至关重要的角色。
作者
徐宏
王莉
何向明
机构地区
清华大学核能与新能源技术研究院
出处
《新材料产业》
2018年第9期35-40,共6页
Advanced Materials Industry
基金
"清华大学-张家港氢能与先进锂电技术联合研究中心"支持
关键词
半导体产业
光刻胶
半导体芯片
材料
电子元件
半导体技术
信息技术
电路性能
分类号
TN30 [电子电信—物理电子学]
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