MEMS致动器结构参数变化对致动器的影响

微静电斥力致动器[1]由固定指端和移动指端组成,结构参数主要有固定指端宽度g、相邻固定指端间的横向距离Ta、相邻固定指端宽度Tb和移动指端宽度T。[2]本文以固定指端宽度g为基准,相邻固定指端间的横向距离Ta、相邻固定指端宽度Tb和移动指端宽度T变化时对致动器的影响。有利于致动器的设计开发和规则优化。