MEMS反射镜静电斥力致动单元建模

微静电斥力致动器^([1])由固定指端和移动指端组成,可以利用表面微机械加工技术制造而成。该致动器能够产生一个静电斥力,使移动指端离开基板向上移动。由于两层指端的边界结构复杂,很难建立分析模型。没有特别适用的分析模型,只能用数值模拟致动器的设计,这就使得优化系统和执行机构的性能调优变得非常困难。本文将静电斥力致动器单元化,建立MEMS反射镜静电斥力致动单元模型,该模型给出了致动器中产生的排斥力的估计值。