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KLA-Tencor宣布推出Kronos^(TM)1080和ICOS^(TM)F160检测系统
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摘要
KLA—Tencor公司近日宣布推出两款全新缺陷检测产品,旨在解决各类集成电路(IC)所面临的封装挑战。KronosTM1080系统为先进封装提供适合量产的、高灵敏度的晶片检测,为工艺控制和材料处置提供关键的信息。
出处
《中国集成电路》
2018年第9期86-86,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
检测系统
KLA
缺陷检测
集成电路
高灵敏度
工艺控制
封装
晶片
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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中国集成电路
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