电容式湿度传感器专利技术综述

本文从专利角度对湿度传感器中应用最广泛的电容式湿度传感器技术的发展进行了梳理。基于电容式湿度传感器材料、结构不同,工艺不同,其性能和技术指标有很大差异,对其材料,结构的发展路线进行分析,筛选得到相关重要专利,形成电容式湿度传感器领域的技术发展脉络。