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回收碳化硅使用比例对硅片质量的影响
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摘要
碳化硅微粉是多线切割硅片中最主要的磨料,适合切割较硬、脆的材料。多线切割是由导轮带动钢线进行高速运动,由钢线携带砂浆进行研磨的切割方式,而砂浆就是悬浮液(PEG)和碳化硅(SiC)的混合物,当切割完毕后新砂浆变成废旧砂浆,如果把废砂浆丢弃会造成极大的环境污染而且对成本降低也不利,所以目前光伏行业的发展趋势是使用回收碳化硅,本文讨论了不同比例的回收碳化硅对硅片质量的影响。
作者
张晓芳
机构地区
英利绿色能源控股有限公司
出处
《才智》
2013年第15期196-197,共2页
Ability and Wisdom
关键词
回收
锯痕
TTV
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
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刘玉岭,檀柏梅,郝国强,郝美功.
硅的切削液的分析研究[J]
.电子器件,2001,24(2):113-119.
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二级参考文献
11
1
夏锦初.国外半导体硅单晶及其质量[M].上海有色金属研究所,1966..
2
曲敬信 王泓宏.润滑技术手册[M].化学工业出版社,1997..
3
宋世谟 等.物理化学[M].天津大学物理化学教研室,1993..
4
王儒全.杂质吸收效应[M].上海半导体器件研究所,1970..
5
曲敬信,润滑技术手册,1997年
6
朱绍华,机械加工工艺,1996年
7
郑忠,表面活性剂的物理化学原理,1995年
8
宋世谟,物理化学,1993年
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刘家浚,材料磨损原理及其耐磨性,1993年
10
王儒全,杂质吸收效应,1970年
共引文献
13
1
熊次远,李庆忠,钱善华,闫俊霞.
硅晶体线切割液的研究进展与发展趋势[J]
.金刚石与磨料磨具工程,2012,32(5):46-51.
被引量:6
2
富扬,刘兆滨,宋恩军,边玉强,孙艳芝.
硬脆性材料线切割切削液的组成和发展[J]
.半导体技术,2008,33(4):292-295.
被引量:14
3
任丽,李彦林,羊建坤,刘晓平,王敏花.
超薄太阳能硅片线切割工艺中悬浮液特性研究[J]
.太阳能学报,2008,29(3):324-327.
被引量:13
4
袁艳蕊,魏昕,丁寅.
游离磨料线切割的切割液行为综述[J]
.金刚石与磨料磨具工程,2009,29(6):43-48.
被引量:7
5
栾国旗.
多线切割中温度对悬浮液的影响[J]
.电子工业专用设备,2012,41(2):15-18.
6
李强,马玉通,杨士超.
温度对悬浮浆料黏度的影响[J]
.电子工业专用设备,2013,42(8):13-15.
7
王文昌,王平,顾浩.
提高SiC砂在PEG为基础的线切割液中分散稳定性的研究[J]
.太阳能学报,2014,35(8):1400-1404.
被引量:1
8
王文昌,陆春,顾浩.
粘度与表面张力对硅片切割液稳定性能影响的研究[J]
.太阳能学报,2015,36(2):387-391.
被引量:3
9
郭莉萍,陈亚丽,张晟卯,徐元清.
切割液性能对切割行为影响的研究进展[J]
.广州化工,2015,43(20):27-30.
被引量:1
10
陈仁芳,邓宝祥,王晴晴.
硅晶体线锯切削液的应用与发展[J]
.太阳能,2016(9):22-24.
同被引文献
17
1
Uzsoy R,Lee C,Martin-Vega L A. A review of production planning and scheduling models in the semiconductor industry part 1: system characteristics, performance evaluation and production planning[ J ]. lie Trans, 1992,24 (4) :47- 60.
2
高玉飞,葛培琪,李绍杰,侯志坚.
切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响[J]
.武汉理工大学学报,2008,30(8):86-88.
被引量:10
3
徐旭光,周国安.
多线切割晶体表面质量研究[J]
.电子工业专用设备,2008,37(11):20-22.
被引量:6
4
袁向东,刘利华,李俊国,张联盟.
多晶硅铸锭涂层用高纯Si3N4微粉的研究进展与展望[J]
.硅酸盐通报,2009,28(3):548-552.
被引量:10
5
种宝春,靳永吉,罗嘉辉.
多线切割机的切割运动分析[J]
.电子工业专用设备,2010,39(2):31-34.
被引量:9
6
任丙彦,王平,李艳玲,李宁,罗晓英.
Si片多线切割技术与设备的发展现状与趋势[J]
.半导体技术,2010,35(4):301-304.
被引量:9
7
朱录涛.
太阳能多晶硅铸锭用熔融石英坩埚氮化硅涂层的制备[J]
.襄樊学院学报,2010,31(2):79-81.
被引量:7
8
邢鹏飞,郭菁,刘燕,庄艳歆,涂赣峰.
单晶硅和多晶硅切割废料浆的回收[J]
.材料与冶金学报,2010,9(2):148-153.
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9
仝宇,徐冬梅,齐维,丛明辉.
硅切割废砂浆回收现状[J]
.无机盐工业,2011,43(9):5-7.
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王小军,孙振亚.
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.超硬材料工程,2011,23(6):19-23.
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2
1
封丽娟.
太阳能硅片切割工艺[J]
.江南大学学报(自然科学版),2014,13(6):716-719.
2
王雄龙.
碳化硅微粉在多线切割中的应用[J]
.电子工业专用设备,2016,45(12):20-24.
1
正确选用卤水使用比例为企业创造经济效益[J]
.江苏氯碱,1994(3):22-23.
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.氯碱工业,2017,53(1):48-48.
3
丁晓民.
化学机械研磨浆料对硅片质量的影响[J]
.广东化工,2017,44(5):85-86.
被引量:2
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刘生仓.
基于丙烯压缩机TTV频繁关闭的研究[J]
.科技资讯,2013,11(34):85-85.
5
曾立.
改进工艺提高卤水使用比例[J]
.中国氯碱,2000(6):10-10.
6
施惠生,许碧莞.
利用旁路放风系统控制氯含量[J]
.水泥,2006(6):36-36.
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.超硬材料工程,2011,23(6):19-23.
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.四川水泥,2013(8):104-107.
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.中国粉体工业,2008(4):58-58.
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王守权.
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