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回收碳化硅使用比例对硅片质量的影响 被引量:2

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摘要 碳化硅微粉是多线切割硅片中最主要的磨料,适合切割较硬、脆的材料。多线切割是由导轮带动钢线进行高速运动,由钢线携带砂浆进行研磨的切割方式,而砂浆就是悬浮液(PEG)和碳化硅(SiC)的混合物,当切割完毕后新砂浆变成废旧砂浆,如果把废砂浆丢弃会造成极大的环境污染而且对成本降低也不利,所以目前光伏行业的发展趋势是使用回收碳化硅,本文讨论了不同比例的回收碳化硅对硅片质量的影响。
作者 张晓芳
出处 《才智》 2013年第15期196-197,共2页 Ability and Wisdom
关键词 回收 锯痕 TTV
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献11

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  • 2曲敬信 王泓宏.润滑技术手册[M].化学工业出版社,1997..
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  • 4王儒全.杂质吸收效应[M].上海半导体器件研究所,1970..
  • 5曲敬信,润滑技术手册,1997年
  • 6朱绍华,机械加工工艺,1996年
  • 7郑忠,表面活性剂的物理化学原理,1995年
  • 8宋世谟,物理化学,1993年
  • 9刘家浚,材料磨损原理及其耐磨性,1993年
  • 10王儒全,杂质吸收效应,1970年

共引文献13

同被引文献17

引证文献2

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