摘要
在综合比较各类光开关基础上,提出一种新的M型电热式微机电系统(MEMS)光开关结构,并对结构的可行性进行理论分析和多物理场仿真,通过对光开关驱动部分的驱动位移、温度分布、应力应变实验数据的分析,确定了光开关结构的可行性。
On the basis of comprehensive comparison of all kinds of optical switch,put forward a kind of M type electrothermic type micro-electro-mechanical system（ MEMS） optical switch structure,and theoretical analysis on feasibility of structure and simulation on multi physical field,through analyzing on drive part displacement,temperature distribution,stress and strain experimental data of optical switch,determine the feasibility of optical switch structure.
作者
肖杰
陆安江
黄子吉
XIAO Jie;LU An-jiang;HUANG Zi-ji(College of Big Data and Information Engineering,Guizhau University,Gniyang 550025,China)
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第10期79-81,共3页
Transducer and Microsystem Technologies
基金
国家国际合作专项项目(2014DFA00670)
贵州省科技重大专项项目(黔科合重字[2016]3022号)
关键词
全光网络
微机电系统
电热式
光开关
all optical network
micro-electro-mechanical system（MEMS）
electrothermic type
optical switch
