微波感耦稀有气体等离子体光谱激发的空间分布特性

微波感耦等离子体(MIP)独具一些其它低温等离子体所不及的优点,它装置简单,阻抗稳定,匹配容易,炬焰稳定无噪声,无电极污染,活性粒子多,效率高,因而有广泛的应用前景。然而,有关这类等离子体的各种参量的空间分布和光谱激发过程的研究,迄今仍缺乏比较详尽和满意的结果。