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激光诱导石墨蒸汽羽的时/空分辨光谱分析

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摘要激光沉积陶瓷薄膜是获取高技术薄膜(如超导薄膜)的新方法。激光诱导的材料蒸汽羽的光谱分析对形成薄膜性质的判断和激光与材料相互作用机理的研究都具有重要意义。为分析简单起见,我们用石墨作为靶材,用YAG激光器、真空室和OMA系统实现了不同能流密度条件下蒸汽羽的时/空分辨的光谱分析,得到如下的结果:

作者赵建荣 Peter K.Schenck

机构地区中国科学院力学研究所 NIST

出处《量子电子学报》 CAS CSCD 1992年第1期94-94,共1页 Chinese Journal of Quantum Electronics

关键词蒸汽羽谱分析激光诱导空分辨能流密度石墨超导薄膜 YAG激光器相互作用机理陶瓷薄膜

分类号 TN201-55 [电子电信—物理电子学]

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量子电子学报

1992年第1期

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