电子级多晶硅生产技术探讨

本文主要结合我公司目前所掌握的硅烷法多晶硅生产技术和国外先进技术,对电子级多晶硅生产关键改良技术进行了全面的分析和探究,进而为实现我国电子工业持久稳定发展,提高其生产效率和生产效益作为准确的参考依据。