高能激光薄膜损伤检测及其制备关键技术

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摘要为了满足特定的光学性能,光学元件表面均需要涂覆薄膜.随着大功率、高能量激光系统的发展,传统光学薄膜的抗激光能力受到了挑战：一是薄膜在强激光作用下是否损伤的评判以及抗损伤能力的测试问题,二是高损伤阈值薄膜的制备问题,目前国内尚没有有效的检测手段和测试设备.

作者张立新

出处《西安工业大学学报》 CAS 2018年第5期456-456,共1页 Journal of Xi’an Technological University

关键词激光薄膜损伤检测高能量制备技术测试设备光学性能光学元件

分类号 TN24 [电子电信—物理电子学] O484 [理学—固体物理]

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