摘要
对当前光学谐振腔式湿度传感器领域的最新研究进展进行了综述,比较了基于微环、微结和回音壁式谐振腔的湿度传感器的光学品质因数Q、灵敏度等关键特性,并对此类湿度传感器的未来发展趋势进行了展望。
The latest research progress of the field of optical resonator type humidity sensor is reviewed,optical quality factor Q,sensitivity and other key characteristics of humidity sensors based on microloop,microknot and whispering gallery type resonator of humidity sensor are compared and the future development trend of the humidity sensor is prospected.
作者
张勐
赵学峰
韵力宇
文丰
张彦军
闫树斌
ZHANG Meng;ZHAO Xue-feng;YUN Li-yu;WEN Feng;ZHANG Yan-jun;YAN Shu-bin(Key Laboratory of Instrumentation Science ＆ Dynamic Measurement,Ministry of Education,North University of China,Taiyuan 030051,China;Command Institute of Chinese People＇s Armed Police Force,Tianjin 300250,China)
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第11期1-5,17,共6页
Transducer and Microsystem Technologies
基金
国家自然科学基金资助项目(61675185
61275166)
山西省自然科学基金资助项目(201601011008)
山西省高等院校中青年拔尖创新人才项目
山西省高校"131"领军人才
山西省留学归国择优基金资助项目
中北大学杰出青年基金资助项目
山西省研究生教育创新项目基金资助项目
关键词
湿度传感器
谐振腔
品质因数
灵敏度
humidity sensor
resonant cavity
quality factor
sensitivity
