气相沉积表面强化技术的新进展

一、前言材料的磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一.解决这个问题的有效途径是通过各种表面处理技术来强化材料的表面.近年来,各种离子和等离子体增强的气相沉积技术发展十分迅速,經济效益极为显著.其最突出的例子是氮化钛镀层在高速钢刀具上的应用,能够提高寿命几倍至几十倍.被誉为'刀具革命'.其实,气相沉积技术除用于耐磨损和抗腐蚀外,还有光学膜、装饰膜、敏感元件和功能器件、集成电路、高分子材料聚合和改性、复合材料等.本文以机械工业材料表面强化为中心,分析离子增强气相沉积技术的现状及其应用前景. 二、气相沉积的基本原理和类型表面强化是運用各种技术改变材料表面的化学组成、相结构、显微组织和应力状态,以提高材料抗御环境破坏作用的能力.这些表面技术。