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Fe—Zr—B非晶磁性薄膜制备工艺对性能的影响
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摘要
用JGPP560D型双室多功能磁控溅射仪成功制备了Fe-Zr-B非晶磁性薄膜，并获得了良好的磁性能，并研究了制备工艺对薄膜性能的影响。
作者
徐炜新
程新利
等
机构地区
上海钢铁研究所
中科院上海冶金研究所
出处
《金属材料研究》
2002年第3期26-31,共6页
Research on Metallic Materials
关键词
Fe-Zr-b合金
非晶薄膜
磁控溅射
磁性能
分类号
TG139.8 [一般工业技术—材料科学与工程]
TM27 [一般工业技术—材料科学与工程]
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金属材料研究
2002年 第3期
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