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薄膜测量的椭偏仪法
被引量：
2
Thin Films Measuring with Ellipsometry
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摘要
简述了椭偏法测量薄膜厚度的物理原理,分析了其系统误差。
Physical principles of measuring thin films with ellipsometry are discussed briefly, and its system error is analyzed.
作者
杜学东
王红
机构地区
唐山师范学院国有资产管理处
河北师范大学数学系
出处
《唐山师范学院学报》
2002年第5期67-68,共2页
Journal of Tangshan Normal University
关键词
薄膜测量
椭偏义法
厚度测量
测量原理
系统误差
起偏器
检偏器
thin film
ellipsometry
measuring
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
O432.2 [机械工程—光学工程]
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