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硅微谐振式加速度计技术现状及展望
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摘要
硅微谐振式微加速度计是各种MEMS加速度计中被普遍看好并期待为将来的高精度微加速度计发展的一个重要方向,正在全世界范围内被广泛研究。本文对硅微谐振式微加速度计的发展现状进行了评述。根据国内外不同的技术实现,诸如工作原理、微加工工艺实现、应用范围等对其进行了分类阐述。最后,对硅微谐振式加速度计研究中一些关键技术进行了讨论,并提出了展望。
作者
万蔡辛
李丹东
张承亮
陈效真
机构地区
清华大学精密仪器与机械学系
北京航天控制仪器研究所
中国航天电子技术研究院
出处
《导航与控制》
2010年第2期72-79,共8页
Navigation and Control
关键词
微机械
惯性传感器
加速度计
谐振
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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导航与控制
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