电气和电子工程用材料科学

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摘要 TB43 02040018铝硅合金膜在MEMS电容式开关中的应用/忻佩胜,丁玲,石艳玲,朱自强,赖宗声(华东师范大学) 半导体技术。-2001,26(12)。-75-77对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4％轻质量铝合金具有较佳的性能。应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式开关,实验结果表明,开关具有较低的激励电压,约为28V,在10GHz处的隔离度大于15dB。图4参5(午)

出处《中国无线电电子学文摘》 2002年第4期2-8,共7页

关键词电容性能铝硅合金激励电压铁电相变隔离度电子工程叉指电极叉指换能器朱自强铁电体

分类号 TM564 [电气工程—电器]

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