摘要
卢道明,男,教授。1968年台湾成昆大学理学士,1971年乌司特综合工业大学理硕土,1976年威斯康星大学哲学博士。目前任美国罗斯利尔综合工业大学教授、系主任。从事研究不良表面、覆盖层和动态生长面的衍射;表面、界面和薄膜序列;低温薄膜的离子束/局部离子束淀积;微电子和光子应用金属、陶瓷和聚合薄膜的生长及表征。1986年获得罗斯利尔早期发展奖,1988年获得半导体研究公司(SRC)发明奖,1993年获得利罗斯利尔集成电子专科奖;1994年为纽约科学院成员和美国物理协会成员,1995年为美国真空协会成员。曾编辑、出版书刊,发表230篇技术论文,3项专利,130场次全国。
出处
《微电子技术》
1999年第2期21-21,共1页
Microelectronic Technology