摘要
介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能。
The design and implement for the software of the large tilt ion implanter control system were presented.In particular,design for the control system and structure of the system's software,then,how to implement the software and appraise the main module of soft.
出处
《微细加工技术》
2008年第6期1-3,共3页
Microfabrication Technology
关键词
大角度离子注入机
系统软件
软件模块
软件结构
the large tilt ion implanter
software of system
module of soft
structure of software
