集成电路制造工艺的Cpk及P水平评价

该文在阐述Pσ设计概念以及与成品率、DPMO换算方法的基础上,分析了影响Pσ设计水平评价精度的关键问题,提出了解决问题的算法,并且自行开发了相应的计算软件,实现了Pσ设计水平与成品率、DPMO相互间的高计算精度换算。