亚像素级的精确测量技术研究

现代工业对测量的精度、测量的效率以及测量的自动化程度的要求越来越高,传统的测量技术很难达到这样的要求,如微小尺寸的测量。基于CCD成像的图像测量方法由于其非接触性、精确性、实时性等优势而被广泛的应用于精确测量中。该文从软件入手,改进图像处理的算法,利用亚像素的图像处理技术,即精度更高的亚像素边缘检测算法,来使图像的边缘定位更加精确,从而提高基于图像处理的入射角测量系统的测量精度。通过实验分析,表明亚像素图像处理测量误差比整像素图像处理测量误差小,均小于0.05,很好的提高了测量精确度。