二次离子质量分析法的同位素分析

一、前言二次离子质量分析法是一种灵敏度很高的固体材料分析方法。当样品用一个高能量(10—20KeV)聚焦很细(1—2μ)的离子束照射时,从样品表面上溅射出各式各样粒子包括中性和带电粒子,如图1所示。