超声电机齿形方环振子的振型一致性分析

压电振子是超声电机、超声输送等压电驱动系统的核心元件,其中压电振子的动态设计、精密加工以及后续的调试工作,决定了相应的行波超声电机、超声输送等驱动系统的运行质量。本文针对含齿方环形振子的齿数设计以及振子面外弯曲振型的均匀一致性问题,进行数值模拟,给出二者的关联性分析,并进行了实验验证。