TCAD课程设计在微电子课程体系中的应用与研究

微电子相关专业人才培养中,半导体器件物理和微电子工艺是两门重要的专业核心课程。本文在探讨TCAD课程设计的开设对改善和提高这两门课程实验和实践教学的意义基础上,依据我们多年来TCAD课程设计的开设经验,对TCAD课程设计中的题目设置、结果评价方式等进行了讨论。通过近两年TCAD课程设计与半导体器件物理和微电子工艺课程的平行开设,它的提高和改善作用通过考试成绩的得到了很好的验证。