半导体分立器件制造工艺的可靠性研究

重点对半导体分立器件制造工艺的可靠性进行分析,分析关键工艺和工艺缺陷对半导体分立器件的可靠性及质量上的影响因素及相应的控制方法,进一步研究半导体分立器件制造工艺的可靠性。