深宽比对铜互连线残余应力的影响

采用ANSYS有限元软件模拟了不同深宽比铜互连线的残余应力分布情况。结果表明,铜互连线表面和侧壁区域的应力随深宽比升高而增加;底部区域的应力在深宽比接近1时达到最小值。