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发明专利申请中的制作铝及铝合金薄膜的技术
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摘要
本文分析了近年来已公开的制作铝及铝合金薄膜发明专利申请,对上述专利申请进行了技术分类,介绍了铝及铝合金薄膜的各种应用及优点;其中制作薄膜的技术一直在不断改进;本文最后还对铝及铝合金薄膜制作的发展前景进行了展望。
作者
何丹丹
机构地区
国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心
出处
《电子制作》
2014年第13期77-78,共2页
Practical Electronics
关键词
铝及铝合金
薄膜
薄膜制作技术
原子层沉积
溶胶凝胶
阳极氧化
气相沉积
磁控溅射
分类号
TB383.2-18 [一般工业技术—材料科学与工程]
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