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硅集成压力传感器设计

Design of silicon integrate pressure sensor

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摘要主要对硅集成传感器的理论设计进行了分析和探讨。 This paper mainly discusses the theoretical design of silicon integrate sensor.

作者贺水燕彭万里

机构地区湘潭师范学院物理系湘潭大学物理系

出处《湘潭师范学院学报（自然科学版）》 2002年第3期64-66,共3页 Journal of Xiangtan Normal University (Natural Science Edition)

关键词硅集成压力传感器设计硅膜片挠度灵敏度微加工电容传感元件硅压阻式模型 silicon diaphragm sensor deflection sensitivity

分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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湘潭师范学院学报（自然科学版）

2002年第3期

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