小型机械零件表面处理用的激光物理气相淀积装置

机械零件正向高性能与小型化方向发展,而对于精度与寿命的要求更为严格。为实现这一要求,可在加工性能好的金属材料表面,采用涂覆润滑性、耐磨性能优异的陶瓷薄膜的技术。陶瓷薄膜涂层日本三菱电机生产技术研究所开发了用于批量生产的激光物理气相淀积(PVD)装置,可用于在精密机械零件表面涂覆陶瓷薄膜层。