摘要
本文综述了真空微电子学近年来的发展及其应用。主要包括FEA、材料及在FED、微波器件和其它方面的应用。
This paper reviews the developments and applications in vacuum microelectronics, including FEA,materials, and the applicatons in FED, microwave device or other fields.
出处
《微电子技术》
2002年第5期16-21,共6页
Microelectronic Technology
