采用QWACS的实时扩散生产线统计工艺管理

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摘要目前,开发了实时半导体扩散生产线统计工艺管理(SPC:Statistical Process Control)的质量早期警报管理系统(QWACS:Quality Early Warning Alarm Control System)。

作者康顺

出处《微电子技术》 2002年第5期27-27,共1页 Microelectronic Technology

关键词半导体质量 QWACS 实时扩散生产线统计工艺管理

微电子技术

2002年第5期

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