C＊N＊／MN多层复合超硬薄膜及合成装置及方法

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摘要本发明公开了一种C3N4／MN多层复合超硬薄膜以及合成此膜的装置和广方法，该膜包括NM过渡层，C3N4／MN主耐磨层和MN表面减磨层，具有很高的显微硬度，采用本发明的装置和方法制备该膜，时间短，效率高，合成成本低，其显微镜硬度高达40－55MPa，因此在高速工具钢和其他耐磨涂层工件上镀制氮化碳超硬薄膜，具有很大的实用价值。

出处《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期67-67,共1页 Surface Technology

关键词武汉大学专利合成装置方法 C3C4/MN多层复合超硬薄膜减磨层显微硬度耐磨层 MN过渡层

分类号 TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]

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