具有平铺式瓷衬的半导体加工设备
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期71-71,共1页
Surface Technology
-
1施建伟,黄崇杰.基于主用户行为的多天线频谱共享[J].中国新技术新产品,2015(23):12-13.
-
2奥特蓝星推出音箱精品[J].石油工业计算机应用,2010(3):52-52.
-
3音质小璇风 奥特蓝星iML227音箱[J].新潮电子,2010(9):111-111.
-
4张志锋,张剑家,辛德胜,路晓伟,齐芹,陈为波.用于引信的组合发光系统研究[J].长春理工大学学报（自然科学版）,2013,36(3):5-8.
-
5豫民.两种感应耦合源中的氧等离子体成分[J].等离子体应用技术快报,1996(8):20-21.
-
6Aoki.,T,春声.甚高频带等离子体加工的新颖阻抗匹配方法[J].国外核聚变与等离子体应用,1998(2):73-80.
-
7王惠三.用低温等离子体处理技术加工波导[J].等离子体应用技术快报,1994(9):5-6.
-
8楚山.微电子加工用大面积射频等离子体[J].等离子体应用技术快报,1996(4):11-12.
-
9Joan Tourne,丁志廉.用激光技术制造导通孔——更密集设计方法的选择[J].印制电路信息,1997,0(11):29-32.
-
10毛晓丽.等离子体技术在印制电路板制造中的应用[J].电子电路与贴装,2004(3):11-16. 被引量：1
;
