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GaAs/GaAlAs反应离子刻蚀腔面激光器 被引量:2

GaAs/GaAlAs RIE-Facet Laser
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摘要 采用反应离子刻蚀GaAs/GaAlAs双异质结构激光器的一个腔面,已经获得室温下连续激射的效果,其阈电流比解理腔面高18%左右,量子效率低14%左右. One facet of GaAs/GaAlAs DH laser cavity was formed by using reactive ion etching(RIE) technique.CW lasing was observed in the lasers fabricated by this method. Comparedwith the cleaved cavity lasers, the average threshold current of RIE facet lasers has inceased byabout 18%, and the average external differentialquantum efficiency decreased by about 14%.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第8期477-481,T001,共6页 半导体学报(英文版)
  • 相关文献

参考文献3

  • 1李建中,J Vac Sci Technol,1985年,BV3卷,1期,406页
  • 2李建中,Appl Phys Lett,1984年,45卷,8期,897页
  • 3王启明,半导体学报,1980年,1卷,1期,219页

同被引文献2

引证文献2

二级引证文献6

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