具有绝对波长校准和5瓦平均功率的先进光刻用准分子激光系统

商品化的Lambda248L准分子激光系统已装配一台新研制的波长计。这种自调整式准分子激光器系统能以±0.001um的绝对准确度,稳定工作在248.180～248.580nm间的任一预定波长上。由于应用于远紫外步进机,其波长可绝对依照步进机的不同光路来校准。该改进型248L系统可以5瓦的平均功率工作。文中给出了实验结果。