现代光栅测量技术被引量：13

Modern grating measuring technology

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摘要一、栅式测量系统简述从上个世纪50年代到70年代栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅,这5种测量系统都是将一个栅距周期内的绝对式测量和周期外的增量式测量结合了起来,测量单位不是像激光一样的是光波波长,而是通用的米制(或英制)标尺.

作者卢国纲

机构地区中国科学院自动化研究所

出处《世界制造技术与装备市场》 2002年第5期10-13,共4页 World Manufacturing Engineering & Market

关键词光栅测量技术栅式测量系统莫尔条纹光电扫描

分类号 TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]

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