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纳米材料与技术在微机械领域中的应用 被引量:1

The Application of Nanometer Material and Technology Field of MEMS
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摘要 纳米材料是近年来出现的一种新型功能材料,是纳米技术发展的重要基础。文中概述了世界纳米技术的研究发展计划,简要介绍了纳米材料的制备方法,并给出了纳米技术在微机械领域中的应用情况。 Nanometer material is a kind of new functional material in recent years, it is the important basis of the nanotechnolo-gy. The research & development plan about the worlds nanotechn-ology is proposed in this paper. Also its making method and the application situation the field of MEMS are summerized here.
作者 唐苏亚
机构地区 涟水无线电厂
出处 《微特电机》 北大核心 2002年第5期33-34,42,共3页 Small & Special Electrical Machines
关键词 纳米材料 微机械 应用 纳米技术 nanometer material narotechnology MEMS nanometer molecule motor
  • 相关文献

参考文献4

  • 1向春礼.纳米科技及其发展前景[J].新材料产业,2001,(4):8-11.
  • 2王新林.金属功能材料的几个最新发展动向[J].金属功能材料,2001,8(1):1-8. 被引量:22
  • 3丁乃建.21世纪数控技术新面貌[J].机械制造,2001,15(2):24-26.
  • 4杨大智.智能材料与智能系统[M].天津大学出版社,2001,12..

二级参考文献10

共引文献23

同被引文献3

引证文献1

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