摘要
X射线波段多层膜光学元件的制备与应用研究是近年来国际上短波光学界的一大热点。对于同步辐射,这类多层膜光学元件可以极大扩展其应用范围;对于X射线激光研究,各种多层膜反射镜和半透半反镜是实现X射线激光谐振腔的关键元件;对于天文学和天体物理学,多层膜反射镜组成的正入射X射线望远镜是大气层外天文观测的重要手段;对于新一代微电子学和微机械学,多层膜元件组成的光学系统是亚微米X射线光刻术的技术关键;对于生物学和医学研究,多层膜元件组成的正入射X射线显微镜可以获得比可见光至少高一个量级的分辨率,并实现对细胞单元的活体实时观察。同时,多层膜元件的制备与应用研究对X射线光学理论以及相关的超精密加工、检测技术、超薄膜制备技术也起了极大的推动作用。
