中外合作研究高介电材料获突破

近日,南京大学与中科院物理所和摩托罗拉公司共同合作的高介电材料研究获重大进展:两种薄膜材料铝酸镧(LAO)和镧铝氧氮(LAON)作为下一代金属氧化物半导体场效应管器件栅介质材料的优异性能得到揭示。摩托罗拉总公司副总裁、半导体产品部首席科学家路易斯·帕瑞罗博士介绍说,这类材料可望使半导体器件特征尺寸缩小到65纳米以下时继续遵从'摩尔定律',从而生产出更小、更快的芯片。