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世界是这样诞生的—深入解析极紫外光刻技术
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作者
艾辉
出处
《微型计算机》
北大核心
2002年第2期94-101,共8页
MicroComputer
关键词
极紫外光刻技术
电脑芯片
生产工艺
处理器
分类号
TP305 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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无心.
反超英特尔 IBM推出7nm芯片[J]
.电脑迷,2015,0(9):47-47.
2
Aaron Hand.
先进光刻技术大步向前[J]
.集成电路应用,2006,23(5):22-22.
被引量:2
3
Global Foundries宣布2015年将正式启用EUV光刻技术[J]
.微型计算机,2010(22):99-99.
4
极紫外光刻技术研发取得突破[J]
.大众科技,2008(8):9-9.
5
Aaron Hand.
博弈的光刻技术面临的难题[J]
.集成电路应用,2008(8).
微型计算机
2002年 第2期
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