离子注入对YBa_2Cu_3O_(7-x)薄膜超导性能的影响

本文报道了Ar和F离子注入对YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜电学性能及结构的影响,通过X射线衍射和电阻温度关系的测量研究了离子注入后YBa_2Cu_3O_(7-x)薄膜T_c,J_c和结构的变化。实验中发现,在低剂量注入情况下,T_c和J_c随着注入剂量的增加而下降。但是,上临界温度和X射线衍射谱却几乎保持不变。当Ar离子的注入剂量达到1.2×10^(13)Ar/cm^2时,样品发生金属一半导体相交。当注入剂量大于1.2×10^(13)Ar/cm^2时,样品的体超导性能基本上完全消失了,X射线衍射峰的强度也有所减弱,最终发生了晶态-非晶态相变,室温电阻率增加了好几个数量级。讨论了超导性能变化及金属一半导体相变的物理起因。