摘要
本文对高纯气体管道系统杂质污染问题进行研究,以保证元器件的制造质量能够满足电子工业的应用要求。
This article investigates the pollution caused by impurities in high purity gas pipeline to ensure the quality of elementsfor electricity industry.
作者
方磊
方建明
Fang Lei;Fang Jianming(Zhejiang Engineering Design Co.,Ltd.,Zhoushan 310012,China)
出处
《石化技术》
CAS
2016年第7期125-125,共1页
Petrochemical Industry Technology
关键词
高纯气体
管道系统
污染防治
high purity gas
pipeline system
pollution prevention and control
