洗磷刻蚀滚轮技术升级研究报告

本文通过酸腐蚀织构法进行背面湿法刻蚀。在湿法刻蚀工序中，通过优化和改进了刻蚀滚轮表面结构，达到了减少酸消耗量，节约经济成本，减少废水排放的目的。